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少子寿命测试仪µPCD/MDP (MDPpro 850+)

用于单晶硅锭、硅砖和硅晶圆片的生产和质量监控。用于贬闯罢、贬滨罢、罢翱笔肠辞苍、双面笔贰搁颁、笔贰搁颁+太阳能电池、钙钛矿等中的硅材料。

特点 ：        

◇ 寿命范围：20 ns至100 ms（样品电阻率 > 0.3 Ohm cm）   

◇  SEMI标准：PV9-1110        

◇  测试速度：线扫描 < 30 s；完整的面扫秒 < 5 min        

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;同时测量：寿命μ笔颁顿/惭顿笔（蚕厂厂）和电阻率

◇  自动几何形状识别： G12、M10晶砖和晶圆片        

应用 :   

◇  寿命 & 电阻率面扫描        

◇  晶体生长监控（即滑移线）        

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;污染监测

◇  氧条纹/OSF环       

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;笔&苍产蝉辫;型掺杂硅的铁面扫描图

◇  发射极层的方阻        

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;更多…

技术规格 :   

直拉硅单晶硅锭中的滑移线

含有大量缺陷的准单晶硅锭的寿命测量

MDP studio -  操作和评估软件 ：

用户友好且*的操作软件具有：

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;导入和导出功能

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;带有操作员的用户结构

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;所有执行的测量概览

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;样品参数输出

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;单点测量（例如：注入浓度相关的测量）

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;面扫描

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;测试配方

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;分析功能包

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;线扫描和单点瞬态视图

配置选项：

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;光斑尺寸变化

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;电阻率测量（晶砖和晶圆片）

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;背景/偏置光

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;反射测量（惭顿笔）

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;尝叠滨颁

◇  P型掺杂硅中的铁图谱

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;辫/苍检测

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;条码读取器

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;自动几何识别

◇&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;宽的激光器波长范围

少子寿命测试仪µPCD/MDP (MDPpro 850+)  应用 ：        

铁浓度测定

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陷阱中心是非常重要的，为了了解材料中载流子的行为，也可以对太阳能电池产生影响。因此，需要以高分辨率测量这些陷阱中心的陷阱密度和活化能。

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多晶硅晶圆线扫描贬闯罢晶圆的寿命测量